实验室超高真空（UHV，＜10⁻⁷Pa）工业仪器外观设计-结构设计-样品制作

杜绝虚泄漏（虚拟漏孔）（UHV 最常见升压根源）

1. 腔体内部所有螺纹孔全部采用通孔 + 通气孔螺钉（中空排气螺钉）；盲孔底部必须打 Φ0.8～1mm 排气小孔，封闭腔窝会长期封存气体缓慢释放。
2. 禁止双层叠加板材、夹缝腔体、封闭式沉台结构，夹缝气体无法被抽出，形成长效内部气源。
3. 内部装配垫片、支架板材四周开泄压槽，消除夹层密闭空间。
4. 法兰台阶、焊接坡口不留密闭狭小空腔。

二、材料选型（低出气率为第一准则）

1、腔体母材（真空浸润面）

表格

❌ 严禁使用：普通黄铜、镀锌件、铸铝、普通橡胶、带色塑料、普通有机粘接剂、喷漆涂层（真空内壁绝对不能喷涂油漆）

实验室超真空工业实验仪器设备

减振、抗振动设计（精密 UHV 仪器重中之重）

振动两大危害：管路焊缝疲劳微漏、内部光学 / 探针测量数据漂移抖动

1. 外源振动隔离：整套真空主机放置在气浮隔振平台（精密表征设备标配）；普通实验室设备采用多层高阻尼橡胶减振基座，隔绝地面空压机、冷水机、风机振动。
2. 内源振动隔离
   • 分子泵、真空泵全部用波纹管柔性接管 + 独立减振支架，不和腔体刚性固连。
   • 腔体独立刚性基座，泵组、电控系统分体安装，共用机架需加装橡胶隔振垫。
   • 腔体内部精密运动台（探针、机械手）采用悬浮减振安装。
3. 大面积外部钣金护罩增设折弯加强筋，防止风机共振产生壳体振动传导至真空腔体。

腔体泄压：设置爆破片 / 泄压阀，烘烤异常升压、气体充入过量时安全泄压，防止腔体承压损坏。 充气回路配备单向阀、减压阀，高纯氮气干燥回填破真空，禁止压缩空气直接通入腔体。 加热系统具备超温断电、过热熔断双重保护，防止保温层起火。 真空机组配置泵故障、真空度异常联动报警，真空度超标自动关闭腔体阀门。 腔体可靠保护接地，消除静电积累，等离子、电子束类真空设备必须严格等电位接地。